标准征求意见
关于《半导体用缓冲氧化蚀刻液》等3项团体标准征求意见的通知
各有关单位及专家：
由中国化工学会组织制定的《半导体用缓冲氧化蚀刻液》等3项团体标准已完成征求意见稿，现公开征求意见。请于2026年4月2日之前将中国化工学会团体标准征求意见表（见附件4）以电子邮件的形式反馈至中国化工学会。
联系人：杨越 电话：010-64455951 邮箱：yangy@ciesc.cn
附 件：
1. 《半导体用缓冲氧化蚀刻液》征求意见稿和编制说明
2. 《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产次氯酸钠》征求意见稿和编制说明
3. 《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产氢氟酸》征求意见稿和编制说明
4. 中国化工学会团体标准征求意见表
中国化工学会
2026年3月2日
附件1《半导体用缓冲氧化蚀刻液》编制说明（征求意见稿）.pdf
附件2《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产次氯酸钠》编制说明（征求意见稿）.pdf
附件2《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产次氯酸钠》征求意见稿.pdf
附件3《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产氢氟酸》(征求意见稿)编制说明.pdf
附件3《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产氢氟酸》征求意见稿.pdf
关于《半导体用缓冲氧化蚀刻液》等3项团体标准征求意见的通知_盖章.pdf
